特許
J-GLOBAL ID：200903072983184878
シリコン単結晶引き上げ装置用断熱材および使用方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-064186
公開番号（公開出願番号）：特開2002-265297
出願日： 2001年03月08日
公開日（公表日）： 2002年09月18日
要約：
【要約】【課題】 シリコン単結晶引き上げ装置用のカ-ボン製又はC/C製のインナ-シ-ルドにつき、寿命延長に優れた効果を呈し、ランニングコストの大幅な低減が可能なインナ-シルドを提供する。【課題解決の手段】 シリコン単結晶引き上げ装置の断熱材(インナ-シ-ルド)であって、内側部分の下部より約2/3の部分に薄肉の炭素繊維強化炭素材を着脱自在に取付けたことを特徴とする断熱材。上記のシリコン単結晶引き上げ装置の断熱材において、断熱材において、断熱材の内側部分に取り付けた炭素繊維強化炭素材の消耗が進行した時点で、炭素繊維強化炭素材を断熱材から取り外して、上下を逆にして再度断熱材に取り付けて使用する。さらに消耗が進行してライフエンドとなった時は、新規の炭素繊維強化炭素材と取り替えて、以後上記の手順を繰り返すことを特徴とするシリコン単結晶引き上げ装置の断熱材の使用方法。
請求項（抜粋）：
シリコン単結晶引き上げ装置のヒ-タの周囲の断熱材(インナ-シ-ルド)であって、内側部分の下部より約2/3の部分に薄肉の炭素繊維強化炭素材を着脱自在に取り付けたことを特徴とする断熱材。
IPC (2件)：
C30B 29/06 502
, C30B 15/00
C30B 29/06 502 C
, C30B 15/00 Z
4G077AA02
, 4G077BA04
, 4G077CF10
, 4G077EG25
, 4G077PA16
