半田バンプの形成方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-126515
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335651
出願日： 1994年06月08日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】半田ボールの溶融後でもメタルマスクが剥がしやすく、またメタルマスクの位置が多少ずれても、電極パッドに均一な半田バンプを形成することができる半田バンプの形成方法を提供する。【構成】半田バンプを形成する被バンプ形成体と、メタルマスクとの間に間隙を設ける。

請求項（抜粋）：

半田バンプを形成する被バンプ形成体の表面にフラックスを塗布する工程と、メタルマスクを前記被バンプ形成体に重ね合わせてメタルマスクに形成した貫通孔を電極パッド上に設ける工程と、貫通孔に半田ボールを置く工程と、リフロー炉で半田ボールを溶融する工程とからなる半田バンプの形成方法において、少なくとも電極パッドとメタルマスクの間に間隙を設けることを特徴とする半田バンプの形成方法。

IPC (5件)：

H01L 21/321 , B23K 3/00 310 , B23K 3/06 , H01L 23/48 , H05K 3/34 505

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開昭64-022049
特開昭63-104397
特開昭50-126550

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審査官引用 (7件)

特開昭64-022049
特開昭63-104397
特開昭50-126550

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