特許
J-GLOBAL ID:200903072994636460
境界層を備えたプラズマ堆積バリアコーティング、このようなコーティングの獲得方法、およびこのように得られた容器
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
川口 義雄
, 井上 満
, 一入 章夫
, 小野 誠
, 大崎 勝真
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-515431
公開番号(公開出願番号):特表2004-504938
出願日: 2001年07月20日
公開日(公表日): 2004年02月19日
要約:
本発明は、特に、処理される基体にバリアコーティングを堆積するために低圧プラズマを使用し、プラズマが、処理ゾーンに低圧で噴射される反応性流体を、電磁界の作用で部分的にイオン化することにより得られる方法に関し、少なくとも有機ケイ素化合物と窒素化合物とを含む混合物を、プラズマ状態にすることによって得られる境界層を基体に堆積する少なくとも一つのステップと、主に、式SiOxの酸化ケイ素からなるバリア層を境界層に堆積することからなるステップとを含むことを特徴とする。
請求項(抜粋):
処理される基体にバリアコーティングを堆積するために低圧プラズマを使用し、プラズマが、処理ゾーンに低圧で噴射される反応性流体を、電磁界の作用で部分的にイオン化することにより得られる方法であって、
少なくとも有機ケイ素化合物と窒素化合物とを含む混合物を、プラズマ状態にすることによって得られる境界層を基体に堆積する少なくとも一つのステップと、主に、式SiOxの酸化ケイ素からなるバリア層を境界層に堆積することからなるステップとを含むことを特徴とする、方法。
IPC (6件):
B05D3/04
, B05D7/22
, B65D23/02
, C08J7/06
, C23C16/42
, C23C16/511
FI (7件):
B05D3/04 C
, B05D7/22 Q
, B65D23/02 Z
, C08J7/06 Z
, C08J7/06
, C23C16/42
, C23C16/511
Fターム (36件):
3E062AA09
, 3E062AB02
, 3E062AC02
, 3E062JA01
, 3E062JA07
, 3E062JB24
, 3E062JC04
, 3E062JD01
, 4D075BB49Z
, 4D075BB78Z
, 4D075BB81Z
, 4D075BB85Z
, 4D075BB92Z
, 4D075CA13
, 4D075CA42
, 4D075DA19
, 4D075DA23
, 4D075DB48
, 4D075DC41
, 4D075EB43
, 4F006AA35
, 4F006AB76
, 4F006BA05
, 4F006CA07
, 4F006DA01
, 4K030AA06
, 4K030AA18
, 4K030BA29
, 4K030BA40
, 4K030BA44
, 4K030BB13
, 4K030CA07
, 4K030CA15
, 4K030FA01
, 4K030JA01
, 4K030LA24
引用特許: