特許

J-GLOBAL ID：200903073004182840

薄円板の支持構造

発明者： 直居 薫
出願人/特許権者： 黒田精工株式会社
代理人 (1件)： 古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-333033
公開番号（公開出願番号）：特開2001-156157
出願日： 1999年11月24日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、シリコンウェーハ等の薄円板を支持するための薄円板の支持構造に関し、薄円板の振動を確実に防止すること、および、薄円板の中心を環状部材の中心に容易,確実に一致させることを目的とする。【解決手段】 環状部材の中心に、前記環状部材に支持される複数の支持部材を介して、薄円板を支持するための薄円板の支持構造において、前記環状部材の中心を中心とする仮想円上に、同一の角度を置いて6点以上の仮想支点を設置し、前記支持部材を前記各仮想支点に、前記仮想支点を支点として揺動自在に配置するとともに、前記隣接する支持部材をリンク部材により相互に連結し、互いに隣接しない位置に位置する前記3個の支持部材の先端に前記薄円板の外周縁部を挟持する主案内部材を配置し、残りの支持部材の先端に前記薄円板の外周面に当接される補助案内部材を配置してなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

環状部材の中心に、前記環状部材に支持される複数の支持部材を介して、薄円板を支持するための薄円板の支持構造において、前記環状部材の中心を中心とする仮想円上に、同一の角度を置いて6点以上の仮想支点を設置し、前記支持部材を前記各仮想支点に、前記仮想支点を支点として揺動自在に配置するとともに、前記隣接する支持部材をリンク部材により相互に連結し、互いに隣接しない位置に位置する前記3個の支持部材の先端に前記薄円板の外周縁部を挟持する主案内部材を配置し、残りの支持部材の先端に前記薄円板の外周面に当接される補助案内部材を配置してなることを特徴とする薄円板の支持構造。

Fターム (7件)：

5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA18 ,  5F031HA24 ,  5F031HA27 ,  5F031HA30 ,  5F031LA07

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭64-028934
  
• ウエハ試験および自動較正システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-056843   出願人：エーディーイーコーポレーション
• 特開平3-025949
  

審査官引用 (3件)

• 特開昭64-028934
  
• ウエハ試験および自動較正システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-056843   出願人：エーディーイーコーポレーション
• 特開平3-025949