特許
J-GLOBAL ID:200903073010429555
熱剥離型ダイ接着用シート、およびチップ状ワーク切断片のキャリアへの固定方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
後藤 幸久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-284625
公開番号(公開出願番号):特開2003-089777
出願日: 2001年09月19日
公開日(公表日): 2003年03月28日
要約:
【要約】【課題】 ダイ接着用接着剤層に固定された被着体を、ダイ接着用接着剤層とともに、その剥離面を汚染させずに加熱により剥離させることができる熱剥離型ダイ接着用シートを提供する。【解決手段】 熱剥離型ダイ接着用シートは、基材の少なくとも片側に熱膨張性微小球を含有する熱膨張性粘弾性層が形成されているとともに、該熱膨張性粘弾性層上にダイ接着用接着剤層が粘着層を介して積層されていることを特徴とする。粘着層は、感圧接着剤及び/又はエネルギー線硬化型粘着剤により構成されていてもよい。ダイ接着用接着剤層が、多層構造(例えば、接着剤層、フィルム、接着剤層の順で積層された多層構造)を有していてもよい。
請求項(抜粋):
基材の少なくとも片側に熱膨張性微小球を含有する熱膨張性粘弾性層が形成されているとともに、該熱膨張性粘弾性層上にダイ接着用接着剤層が粘着層を介して積層されていることを特徴とする熱剥離型ダイ接着用シート。
IPC (3件):
C09J 7/02
, C09J 5/00
, H01L 21/52
FI (3件):
C09J 7/02 Z
, C09J 5/00
, H01L 21/52 E
Fターム (37件):
4J004AA01
, 4J004AA05
, 4J004AA10
, 4J004AA11
, 4J004AA12
, 4J004AA13
, 4J004AA14
, 4J004AA15
, 4J004AA16
, 4J004AB01
, 4J004AB06
, 4J004CA08
, 4J004CB01
, 4J004CB02
, 4J004CC03
, 4J004DA04
, 4J004DA05
, 4J004DB03
, 4J004DB04
, 4J004FA05
, 4J004GA01
, 4J040JA09
, 4J040JB08
, 4J040JB09
, 4J040JB10
, 4J040KA32
, 4J040LA09
, 4J040MA10
, 4J040MB05
, 4J040NA20
, 4J040PA42
, 5F047BA23
, 5F047BA33
, 5F047BA37
, 5F047BA40
, 5F047BA52
, 5F047BB03
引用特許: