可変面積型電子ビーム描画装置を用いた描画方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井島藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-328775
公開番号（公開出願番号）：特開2003-133213
出願日： 2001年10月26日
公開日（公表日）： 2003年05月09日
要約：

【要約】【課題】三角形に成形された電子ビームを有効に活用し、描画速度を向上させるようにした可変面積型電子ビーム描画装置を用いた描画方法を実現するにある。【解決手段】入力されたデータは最初に線台形かどうかが判定される(ステップ1)。この場合、X2-X1の値が0かどうかで判定する。YESの場合、線台形であるため、図形の分割処理は行わず、また描画処理も行わない。NOの場合は図形の分割が行われるが、その場合、矩形の上底(=下底)の長さを分割長Dとする。すなわち、D=X2-X1とされる。次に、残りの長さが分割長Dより大きいかどうかの判定が行われる(ステップ2)。残りの長さがDより大きい場合、(残りの長さ≦2・D)かどうかの判定が行われる(ステップ3)。このステップ3における判定でNOの場合、Dの高さの台形の切り出しが行われる。上記により切り出された長さがDの台形については、三角部の切り離し処理が行われる。

請求項（抜粋）：

電子ビームを矩形開口を有した第1のスリットを通過させ、矩形の電子ビームを第2スリットに照射し、第2スリットの開口を通過した電子ビームを被描画材料上に照射するように構成されており、第2スリットを通過した電子ビームの断面形状を矩形と二等辺直角三角形に成形しうる可変面積型電子ビーム装置において、台形の図形データの内の、斜辺と底辺の法線との成す角度が45度であるような平行四辺形であって、かつ成形しうる最大の二等辺直角三角形の電子ビームの断面形状の直交する辺の長さより短い底辺を有する平行四辺形について、平行四辺形の底辺の長さを分割長として縦方向に平行四辺形図形を分割し、分割された図形を三角形ビームもしくは三角形ビームと矩形ビームの組み合わせで描画するようにした可変面積型電子ビーム描画装置を用いた描画方法。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 504 , H01J 37/09 , H01J 37/305

FI (5件)：

G03F 7/20 504 , H01J 37/09 A , H01J 37/305 B , H01L 21/30 541 J , H01L 21/30 541 Q

Fターム (8件)：

2H097AA03 , 2H097AB05 , 2H097CA16 , 2H097LA10 , 5C033BB02 , 5C034BB05 , 5F056AA04 , 5F056CA05

引用特許：

審査官引用 (13件)

特開昭60-030131
特開昭60-030131
電子ビーム露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-239561 出願人：株式会社東芝

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