特許

J-GLOBAL ID：200903073052052400

基板搬送容器

発明者： 田中 亮 ,  大久保 和雄 ,  鈴木 庸子
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-199520
公開番号（公開出願番号）：特開2001-077188
出願日： 2000年06月30日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】 収容した基板への外部雰囲気からの汚染を効率よく防止するだけでなく、基板自身及び内部構成部材から発生する汚染をも効果的に防止することができるようにし、且つ工場の自動化運転を可能にした基板搬送容器を提供する。【解決手段】 容器本体とこれの正面に配置した開口部を密閉可能に覆うドアとにより構成される保持容器と、該保持容器内において基板に向かって流れる流路と送風装置に向かって流れる流路を有する循環流路を形成する隔壁と、前記基板に向かって流れる流路に配置されて基板をその主面を前記基板に向かって流れる流路にほぼ平行にして保持する基板保持部と、前記基板に向かって流れる流路において前記基板保持部の上流側に配置された粒子除去フィルタ5およびガス状不純物捕捉フィルタ6と、前記保持容器に内蔵されて前記循環流路を循環する循環気流を形成するファンモータ7とを有する。

請求項（抜粋）：

容器本体とこれの正面に配置した開口部を密閉可能に覆うドアとにより構成される保持容器と、該保持容器内において基板に向かって流れる流路と送風装置に向かって流れる流路を有する循環流路を形成する隔壁と、前記基板に向かって流れる流路に配置されて基板をその主面を前記基板に向かって流れる流路にほぼ平行にして保持する基板保持部と、前記基板に向かって流れる流路において前記基板保持部の上流側に配置された粒子除去フィルタおよびガス状不純物捕捉フィルタと、前記保持容器に内蔵されて前記循環流路を循環する循環気流を形成するファンモータとを有することを特徴とする基板搬送容器。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/00

FI (2件)：

H01L 21/68 T ,  B65G 49/00 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平3-076248
  
• 半導体ウェーハ用搬送容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-333225   出願人：神鋼電機株式会社