特許

J-GLOBAL ID：200903073085624957

揺動モータおよびステージ装置

発明者： 豊崎 則男 ,  加藤 恒 ,  橋本 弘
出願人/特許権者： 日立金属株式会社 ,  日立金属機工株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-100351
公開番号（公開出願番号）：特開2002-300766
出願日： 2001年03月30日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
要約：

【要約】【課題】 トルク減少を防止するとともに、縦方向寸法を小さくすることができる揺動モータ(θモータ)を提供する。さらに、トルク減少を防止するとともに、縦方向寸法を小さくすることができる揺動モータ(θモータ)を備えたステージ装置を提供する。【解決手段】 中心軸9に対して支持摺動部材16θを介して回動自在にキャリッジ11θとコイル6θを設け、複数個の永久磁石2θをその磁気空隙に前記コイルが臨むように設けてコイルへ通電することによりキャリッジを回動させる揺動モータであり、複数個の永久磁石は中心軸を中心に360°未満の所定の角度に渡り配置され、コイルへの配線19は前記角度を除く領域に配置される揺動モータ。

請求項（抜粋）：

中心軸に対して支持摺動部材を介して回動自在にキャリッジとコイルを設け、複数個の永久磁石をその磁気空隙に前記コイルが臨むように設けてコイルへ通電することによりキャリッジを回動させる揺動モータであり、複数個の永久磁石は中心軸を中心に360°未満の所定の角度に渡り配置され、コイルへの配線は前記角度を除く領域に配置されることを特徴とする揺動モータ。

IPC (5件)：

H02K 41/03 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/68 ,  H02K 33/18 ,  H02K 41/02

FI (5件)：

H02K 41/03 A ,  G12B 5/00 T ,  H01L 21/68 K ,  H02K 33/18 C ,  H02K 41/02 B

Fターム (31件)：

2F078CA02 ,  2F078CA08 ,  2F078CB02 ,  2F078CB05 ,  2F078CB09 ,  2F078CB12 ,  5F031HA55 ,  5F031KA06 ,  5F031KA08 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5H633BB02 ,  5H633BB15 ,  5H633BB18 ,  5H633GG03 ,  5H633GG06 ,  5H633GG09 ,  5H633GG12 ,  5H633HH02 ,  5H633JA09 ,  5H641BB06 ,  5H641BB15 ,  5H641BB17 ,  5H641BB18 ,  5H641GG03 ,  5H641GG05 ,  5H641GG08 ,  5H641GG12 ,  5H641HH02 ,  5H641JA03 ,  5H641JA15

引用特許：

審査官引用 (2件)

• リニアモータにより駆動される2軸テーブル装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-054348   出願人：ファナック株式会社
• 揺動型アクチュエータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-358242   出願人：コパル電子株式会社