小型ポンプ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西川惠清 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-116355
公開番号（公開出願番号）：特開平11-311184
出願日： 1998年04月27日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：

【要約】【課題】圧電素子を用いたダイアフラムを備えるものにおける吐出流量の増大を図る。【解決手段】圧電素子を用いたダイアフラム1を備えるとともに圧電素子によって駆動されるダイアフラム1によるポンプ室2の容積変化を利用した小型ポンプである。圧電素子を用いた複数枚のダイアフラム1,1がポンプ室2に面している。複数枚のダイアフラム1,1を協調動作させることによって吐出流量を増大させる。

請求項（抜粋）：

圧電素子を用いたダイアフラムを備えるとともに圧電素子によって駆動されるダイアフラムによるポンプ室の容積変化を利用した小型ポンプにおいて、圧電素子を用いた複数枚のダイアフラムがポンプ室に面していることを特徴とする小型ポンプ。

IPC (2件)：

F04B 45/04 , F04B 45/047

FI (3件)：

F04B 45/04 H , F04B 45/04 B , F04B 45/04 103 C

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平4-191480
特開平4-191480
マイクロポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-238204 出願人：横河電機株式会社

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