特許
J-GLOBAL ID：200903073151255950

高周波電源

発明者：
小谷 弘幸

小谷 弘幸 について


出願人/特許権者：
株式会社ダイヘン

株式会社ダイヘン について


代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-004528
公開番号（公開出願番号）：特開2001-197749
出願日： 2000年01月13日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：
【要約】【課題】出力電力を広範囲に制御可能な高周波電源において、無駄に消費される電力を可及的に小さく抑制してその効率を向上させた高周波電源を提供すること。【解決手段】出力電力設定部1と、発振部2と、増幅部3と、電力検出部4と、制御部5からなる第1の制御系Aに加えて、出力電力設定部1と、演算部7と、直流電源部6aとを含む第2の制御系Bを含み、第2の制御系Bにより、出力電力設定部1の設定に応じて増幅部3が高効率で動作するように直流電源電圧Vdcを可変制御する構成。
請求項（抜粋）：
設定に応じて出力電力を制御する高周波電源において、前記設定に応じて発振出力レベルが可変可能な発振部と、供給される直流電圧等に対して前記発振部出力を増幅する増幅部とを含み、前記設定された電力に前記増幅部の出力電力が一致するように前記発振部の発振出力を制御する第1の制御系に加えて、前記設定に応じて前記増幅部が高効率で動作するように前記直流電圧等を可変制御する第2の制御系を設けた、ことを特徴とする高周波電源。
IPC (3件)：
H02M 7/48 ,  G05F 1/12 ,  H03F 1/02
FI (3件)：
H02M 7/48 E ,  G05F 1/12 ,  H03F 1/02
Fターム (44件)：
5H007CB04 ,  5H007CB05 ,  5H007CB06 ,  5H007CB07 ,  5H007CB12 ,  5H007CC03 ,  5H007CC12 ,  5H007CC32 ,  5H007DA03 ,  5H007DA06 ,  5H007DB01 ,  5H007DB05 ,  5H007DC03 ,  5H420BB14 ,  5H420CC02 ,  5H420DD03 ,  5H420EA10 ,  5H420EA27 ,  5H420EA39 ,  5H420EA42 ,  5H420EA45 ,  5H420EB15 ,  5H420EB39 ,  5H420FF05 ,  5H420FF25 ,  5J092AA01 ,  5J092AA18 ,  5J092AA41 ,  5J092AA64 ,  5J092CA36 ,  5J092CA87 ,  5J092CA92 ,  5J092FA01 ,  5J092HA02 ,  5J092HA08 ,  5J092HA25 ,  5J092HA29 ,  5J092HA35 ,  5J092HA37 ,  5J092KA32 ,  5J092MA09 ,  5J092TA01 ,  5J092TA02 ,  5J092TA06
引用特許：
審査官引用 (6件)
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