透光性を有する耐蝕性材料及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-038204
公開番号（公開出願番号）：特開2000-239065
出願日： 1999年02月17日
公開日（公表日）： 2000年09月05日
要約：

【要約】【課題】石英ガラスやサファイアより耐蝕性に優れた透光性を有する材料を提供すること。【解決手段】 98.5%以上の相対密度を有する多結晶希土類元素酸化物から成る焼結体であり、その焼結体の透光性が、可視〜赤外線領域の光線が厚さ5mmの材料を透過する直線透過率で90%以上でかつその透過率の低下が3%以下であり、その焼結体の耐蝕性が、プラズマ照射による腐蝕速度で2.0nm/min以下とした透光性を有する耐蝕材料。その材料の製造方法において、99%以上の純度を有し、かつ5μm以下の平均粒径を有する希土類元素酸化物粉末を成形し、その成形体を1400〜1800°Cの温度で焼成した後、それをさらにホウ素化合物の存在下で1400〜2000°Cの温度で熱処理することとした製造方法。

請求項（抜粋）：

透光性を有する耐触性材料において、該材料が、98.5%以上の相対密度を有する多結晶希土類元素酸化物から成る焼結体であり、その焼結体の透光性が、可視〜赤外線領域の光線が厚さ5mmの材料を透過する直線透過率で90%以上でかつその透過率のプラズマ照射による低下が3%以下であり、その焼結体の耐蝕性が、プラズマ照射による腐蝕速度で2.0nm/min以下であることを特徴とする透光性を有する耐蝕性材料。

IPC (2件)：

C04B 35/50 , B01J 19/08

FI (2件)：

C04B 35/50 , B01J 19/08 E

Fターム (8件)：

4G075AA22 , 4G075CA02 , 4G075EA06 , 4G075EB01 , 4G075FB01 , 4G075FB20 , 4G075FC04 , 4G075FC09

引用特許：

審査官引用 (2件)

希土類酸化物焼結体の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-356994 出願人：信越化学工業株式会社
特開平4-238864

前のページに戻る