力検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志村浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-132566
公開番号（公開出願番号）：特開平6-323933
出願日： 1993年05月10日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【目的】高度な機械加工を必要とせず、比較的低コストで量産できる力検出装置を提供する。【構成】円盤状の固定基板10の上方には、同じく円盤状の基板である変位基板20が配置される。固定基板10の上面には、固定電極層E1〜E5が形成され、変位基板20の下面には、変位電極層F1〜F5が形成される。固定電極層E1〜E5と変位電極層F1〜F5との間には、円盤状のフィルム状ゴム30が介挿されている。変位基板20の上面にも、ドーナツ盤の形状をしたフィルム状ゴム40が配置されている。装置全体は、円筒状の側部筐体50で囲まれ、押圧爪51がフィルム状ゴム40を下方に押圧した状態で固定している。

請求項（抜粋）：

装置筐体に固定されるか又は装置筐体の一部をなす固定基板と、この固定基板の上方に所定の距離を保って対向するように配置された変位基板と、前記固定基板の上面に形成された固定電極と、前記変位基板の下面の前記固定電極に対向する位置に形成された変位電極と、前記固定電極と前記変位電極との間に介挿され、弾力性をもった材料から構成される第1の弾性体と、前記変位基板の上面に設けられ、弾力性をもった材料から構成される第2の弾性体と、前記第2の弾性体を、その上面が前記固定基板に対して所定の距離を保つように支持する支持部材と、前記変位基板に対して力を作用させるための作用体と、を備えることを特徴とする力検出装置。

IPC (2件)：

G01L 5/16 , G01L 1/14

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平4-299227
特開平4-148833
特開昭62-226030

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