特許
J-GLOBAL ID：200903073244336380
荷電粒子線露光装置およびその露光方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
伊東 哲也
, 齋藤 和則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-378665
公開番号（公開出願番号）：特開2006-186125
出願日： 2004年12月28日
公開日（公表日）： 2006年07月13日
要約：
【課題】 荷電粒子線露光装置において、照射荷電粒子線の強度分布を検出し、該分布を均一にするように制御することで、精度よいパターン描画を実現する。【解決手段】 荷電粒子線源より照射された荷電粒子線をアパーチャアレイ3aに設けられた複数の開口で複数の荷電粒子ビームに分割し、アパーチャアレイ3aに設けられた前記開口を通過する際の前記荷電粒子ビームの強度を検出する検出手段と、前記検出手段の検出結果に基づいて前記荷電粒子ビームの強度を調整する調整手段とを有し、前記複数の開口を通してウエハ5上に到達する前記荷電粒子ビームの強度分布を均一とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
荷電粒子線源からの荷電粒子線をアパーチャアレイに設けられた複数の開口で複数の荷電粒子ビームに分割し、前記複数の荷電粒子ビームを用いて露光を行う荷電粒子線露光装置において、前記アパーチャアレイの開口を通過する際の前記荷電粒子ビームの強度を検出する検出手段と、前記検出手段の検出結果に基づいて前記荷電粒子ビームの強度を調整する調整手段と、を有することを特徴とする荷電粒子線露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20
, H01J 37/305
H01L21/30 541E
, G03F7/20 521
, H01J37/305 B
, H01L21/30 541W
5C034BB05
, 5F056AA07
, 5F056AA33
, 5F056BA02
, 5F056BB01
, 5F056CB03
, 5F056CB05
, 5F056CD11
, 5F056EA03
