特許
J-GLOBAL ID：200903073252586833

研削装置のチャック手段

発明者：
増田 隆俊

増田 隆俊 について

, 
後藤 利光

後藤 利光 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 小野 尚純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-249811
公開番号（公開出願番号）：特開2003-062730
出願日： 2001年08月21日
公開日（公表日）： 2003年03月05日
要約：
【要約】【課題】 研削装置のチャックテーブルに吸着保持され研削加工された板状の被加工物を、チャックテーブルから搬出手段により搬出するときに、圧縮空気を含む混合流体をチャックテーブルの吸着面から噴出させる際に、被加工物に割れ、踊りなどの不具合を発生させることがないようにしたチャック手段を提供する。【解決手段】 チャックテーブルを混合流体源に開閉弁を介し連結する混合流体路を、混合流体源と開閉弁の間で分岐し、解放開閉弁を介してドレーンに連結する解放路を設ける。
請求項（抜粋）：
研削装置において板状の被加工物を吸着保持するチャック手段であって、該チャック手段は、被加工物を載置するための多孔質の吸着面を有するチャックテーブルと、チャックテーブルに吸引源を吸引開閉弁を介し連結する吸引路と、チャックテーブルに圧縮空気を含む混合流体源を混合流体開閉弁を介し連結する混合流体路と、混合流体路を混合流体源と混合流体開閉弁との間で分岐して解放開閉弁を介しドレーンに連結する解放路とを備え、該解放開閉弁により解放路を解放することにより該吸着面から噴出させる該混合流体の圧力が調整される、ことを特徴とする研削装置のチャック手段。
IPC (4件)：
B23Q 3/08 ,  B24B 7/04 ,  B24B 41/06 ,  H01L 21/304 622
FI (4件)：
B23Q 3/08 A ,  B24B 7/04 A ,  B24B 41/06 L ,  H01L 21/304 622 H
Fターム (12件)：
3C016CE05 ,  3C016DA05 ,  3C034AA08 ,  3C034BB73 ,  3C034CB11 ,  3C034DD10 ,  3C043BA09 ,  3C043BA16 ,  3C043BA17 ,  3C043CC04 ,  3C043DD05 ,  3C043EE04
引用特許：
審査官引用 (1件)

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