特許
J-GLOBAL ID：200903018762326614

ウェーハチャックテーブル

発明者：
岩城 正民

岩城 正民 について

, 
須藤 浩二

須藤 浩二 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について


代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-355013
公開番号（公開出願番号）：特開2000-183142
出願日： 1998年12月14日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：
【要約】【課題】ドレンセパレータに溜まったクーラントを短時間で効率的に排水することができるウェーハチャックテーブルを提供する。【解決手段】ドレンセパレータ124とウェーハチャックテーブル10との間に流量調整弁142を設置し、該流量調整弁142によってウェーハチャックテーブル10に供給される真空破壊エアの流量を制限する。これにより、真空破壊エアをウェーハチャックテーブル10に向けて供給すると、ウェーハチャックテーブル10に向かう流れが制限されるのでドレンセパレータ124内の圧力が高まり、この結果、ドレンセパレータ124内に溜まったクーラントが短時間に勢い良く排水される。
請求項（抜粋）：
ドレンセパレータを介して真空発生手段に接続され、上面に載置されたウェーハを真空吸着して保持するウェーハチャックテーブルにおいて、前記ドレンセパレータと前記真空発生手段とを接続する管路途中に接続され、前記ウェーハチャックテーブルに真空破壊エアを供給するエア供給手段と、前記ドレンセパレータと前記ウェーハチャックテーブルとを接続する管路途中に設けられた流量調整弁と、を備え、前記ウェーハチャックテーブルの真空破壊時に供給される真空破壊エアの流量を前記流量調整弁で所定流量に制限することにより、該真空破壊エアのエア圧で前記ドレンセパレータ内に溜まった液体を排水することを特徴とするウェーハチャックテーブル。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  B23Q 3/08
FI (2件)：
H01L 21/68 P ,  B23Q 3/08 A
Fターム (5件)：
3C016DA01 ,  5F031CA02 ,  5F031HA13 ,  5F031HA32 ,  5F031MA22
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM