ホローカソード

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮園純一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-339598
公開番号（公開出願番号）：特開2000-161202
出願日： 1998年11月30日
公開日（公表日）： 2000年06月13日
要約：

【要約】【課題】製造におけるキーパ電極の軸ずれを最小限に抑え、ホローカソードを安定に動作させることを目的とする。【解決手段】キーパ電極1を、キーパ電極支持部10を介してホローカソード本体に固定ネジ11を用いて取付けるようにした。

請求項（抜粋）：

一方の端部に、中心に微細な開口部を有する陰極円盤が気密接合され、かつ内部に放電形成用気体が供給される陰極パイプと、この陰極パイプ内の側で上記陰極円盤の近傍に挿入されるパイプ状電子放出体とを備えた陰極部と、この陰極部の上記陰極円盤とは反対側の端部に気密接合され、上記陰極部を外部から絶縁する絶縁器部と、上記陰極部に対向する位置に設けられたキーパ電極とを備えたホローカソードにおいて、上記キーパ電極をホローカソード本体にネジ等により着脱自在に固定したことを特徴とするホローカソード。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平1-309241
特開昭60-264016
プラズマ生成用ホローカソード
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-352673 出願人：日本真空技術株式会社

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