特許

J-GLOBAL ID：200903073290136965

不良クラスタリング検索方法、不良クラスタリング検索装置、不良クラスタリング検索プログラムを格納した記録媒体、救済回路最適化方法、工程管理方法、クリーンルーム管理方法、半導体装置の製造方法、問題工程及び問題装置の抽出方法、問題工程及び問題装置の抽出プログラムを格納した記録媒体、問題工程及び問題装置の抽出装置、及び検索母体のスクラップ判断方法

発明者： 光武 邦寛 ,  牛久 幸広
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-065338
公開番号（公開出願番号）：特開2002-141256
出願日： 2001年03月08日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：

【要約】【課題】 定量的なクラスタリング検索を行うことができる不良クラスタリング検索方法を提供する。【解決手段】 検索母体内に存在する不完全性実体に関するデータを入力する第1のステップ(S100)と、検索母体を分割した各単位セル当りの不完全性実体の頻度分布を計算する第2のステップ(S200)と、頻度分布に対して2種類以上の離散型分布関数を重ね合わせて近似する第3のステップ(S300)と、頻度分布に対する離散型分布関数の重みに基づいて、クラスタリングを検索する第4のステップ(S400)とを有する。特定の原因を持って検索母体内に偏って発生する不完全性実体に近似された離散型分布関数の重みに基づいて、クラスタリングしているかなどを検索することができる。

請求項（抜粋）：

検索母体内に存在する不完全性実体に関するデータを入力する第1のステップと、前記検索母体を分割した各単位セル当りの前記不完全性実体の頻度分布を計算する第2のステップと、前記頻度分布に対して2種類以上の離散型分布関数を重ね合わせて近似する第3のステップと、前記頻度分布に対する前記離散型分布関数の重みに基づいて、クラスタリングを検索する第4のステップとを有することを特徴とする不良クラスタリング検索方法。

IPC (3件)：

H01L 21/02 ,  G06F 17/18 ,  G06F 17/30 170

FI (3件)：

H01L 21/02 Z ,  G06F 17/18 Z ,  G06F 17/30 170 B

Fターム (6件)：

5B056AA08 ,  5B056BB51 ,  5B056BB64 ,  5B075ND20 ,  5B075PQ02 ,  5B075PR04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 不良解析方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-014387   出願人：株式会社日立製作所
• 不良解析装置およびその方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-009967   出願人：株式会社日立製作所