特許

J-GLOBAL ID：200903073297131667

セラミックスヒーター

発明者： 牛越 隆介 ,  左近 淳司 ,  村里 真寛
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-216931
公開番号（公開出願番号）：特開平6-069137
出願日： 1992年08月14日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：

【要約】【目的】 成形時の抵抗発熱体と端子との接続の問題がないとともに肉厚を薄くすることができるセラミックスヒーターを提供する。【構成】 ウェハー加熱面12aを有する盤状のウェハー加熱用セラミック部材1に、抵抗発熱体2を埋設し、この抵抗発熱体2に電力供給用の塊状端子3、4、5を一体形成した盤状のセラミックスヒーター12において、前記塊状端子3、4、5を盤状のセラミック部材1の側面に設けた。

請求項（抜粋）：

ウェハー加熱面を有する盤状のウェハー加熱用セラミック部材に、抵抗発熱体を埋設し、この抵抗発熱体に電力供給用の端子を一体形成した盤状のセラミックスヒーターにおいて、前記端子を盤状のセラミック部材の側面に設けたことを特徴とするセラミックスヒーター。

IPC (7件)：

H01L 21/205 ,  C23C 14/50 ,  H01L 21/22 ,  H05B 3/02 ,  H05B 3/14 ,  H05B 3/18 ,  H05B 3/62

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-120722
  
• プラズマCVD装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-195726   出願人：日立造船株式会社
• 特開昭61-189623