特許
J-GLOBAL ID：200903073310724451
マイクロレンズアレイ及びその形成方法並びに固体撮像素子及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土屋 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-215894
公開番号（公開出願番号）：特開平10-148704
出願日： 1997年07月25日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：
【要約】【課題】 非集光領域の少ないマイクロレンズアレイ及び高感度でスミアも少ない固体撮像素子を提供する。【解決手段】 レジストから材料層17に転写される平面パターンがレジストの平面パターンよりも大きくなる条件で、マイクロレンズアレイ26の立体形状を有するレジストと材料層17とを同時にエッチングする。マイクロレンズ25同士の間隔をレジストの平面パターン同士の間隔よりも狭くすることができ、また、マイクロレンズ25の平面形状が楕円形であっても、行方向と列方向とで高さを互いに異ならせて、何れの方向においても曲率を最適化することができる。
請求項（抜粋）：
複数のマイクロレンズが行列状に並んでいるマイクロレンズアレイにおいて、行方向と列方向とで前記マイクロレンズの高さが互いに異なっており、前記マイクロレンズが単一層の材料層から成っていることを特徴とするマイクロレンズアレイ。
IPC (5件)：
G02B 3/00
, G02F 1/136 500
, H01L 27/14
, H04N 5/335
, C23F 1/00
G02B 3/00 A
, G02F 1/136 500
, H04N 5/335 V
, C23F 1/00 Z
, H01L 27/14 D
