特許
J-GLOBAL ID：200903073318553060
冷陰極電離真空計
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
大森 純一
, 折居 章
, 飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-152666
公開番号（公開出願番号）：特開2008-304361
出願日： 2007年06月08日
公開日（公表日）： 2008年12月18日
要約：
【課題】メンテナンス作業性に優れ、作業コストの低減を図ることができる冷陰極電離真空計を提供する。【解決手段】本発明に係る冷陰極電離真空計21は、真空計本体の内部に互いに対向して配置され放電空間28を形成する第1,第2の金属ブロック25A,25Bの対向面に、軸状電極26が貫通する貫通孔を備えた板部材24A,24Bがそれぞれ設置されている。これにより、放電空間で形成されたプラズマによるイオンのスパッタ作用およびプラズマ生成物の付着から、金属ブロックを保護することができる。また、金属ブロックの長寿命化を図ることができるとともに、クリーニング作業の簡素化を図ることができる。そして、板部材の交換も容易であるので、メンテナンス作業性の向上と、部品交換に伴う作業コストの低減を図ることができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
真空計本体と、前記真空計本体の内部に互いに対向して配置され放電空間を形成する第1,第2の金属ブロックと、前記第1,第2の金属ブロックを貫通する電極とを備えた冷陰極電離真空計であって、
前記第1の金属ブロックと前記第2の金属ブロックの各々の対向面には、前記電極が貫通する貫通孔を備えた板部材がそれぞれ設置されている
ことを特徴とする冷陰極型電離真空計。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
2F055AA40
, 2F055BB08
, 2F055CC48
, 2F055FF43
, 2F055FF45
, 2F055GG11
