特許

J-GLOBAL ID：200903073397697463

コールドカソードゲージ

発明者： 高木 望 ,  中村 静雄
出願人/特許権者： 日本真空技術株式会社
代理人 (1件)： 石島 茂男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-175436
公開番号（公開出願番号）：特開平9-005198
出願日： 1995年06月19日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：

【要約】【目的】 低圧力でも安定した動作をするコールドカソードゲージを提供する。【構成】 コールドカソードゲージ2の真空計容器3内の放電区間4の周囲に磁石5を設け、該磁石3の作る磁界をアノード電極17が作る電界に略直角に交わらせると、電子が前記放電区間4内を螺旋運動に似た運動をする。その際、前記放電区間4内を通る磁力線の経路上に高透磁率部材6、7、8、9を設け、前記磁力線が前記放電区間4内を通りやすくなるような磁気経路を形成しておくと、前記放電区間4内の磁界が強くなり、高真空状態でも安定したプラズマを発生させることができる。前記磁力線の経路上に高透磁率部材6、7、8、9を設け、前記磁石のN極とS極の幅よりも、前記放電区間4内を前記磁力線が通る距離を短くすると磁界がさらに強くなり、性能が向上する。

請求項（抜粋）：

真空計容器と、該真空計容器内に設けられた放電区間と、該放電区間の周囲に設けられた磁石と、前記放電区間内に設けられたアノード電極とを有し、前記磁石の作る磁界と前記アノード電極の作る電界とが前記放電区間内で略直角に交わるようにされたコールドカソードゲージであって、前記放電区間内を通る磁力線の経路上に高透磁率部材が設けられ、前記磁力線が前記磁石のN極からS極に到るまでに前記放電区間内を多く通るように磁気経路が形成されたことを特徴とするコールドカソードゲージ。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭60-158329
  
• 真空計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-091801   出願人：麻蒔立男
• 特開昭52-016966