特許
J-GLOBAL ID：200903073338919649
圧電ダイヤフラムポンプの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西川 惠清 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-294042
公開番号（公開出願番号）：特開2001-115969
出願日： 1999年10月15日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：
【要約】【課題】 筐体の接合時に、筐体の流路と膜状バルブの孔部との位置合わせを不要とし且つ接合時の位置ズレを防止する。筐体間にダストやミスト等を噛み込むのを防止する。膜状バルブの厚みを簡単に変更する。【解決手段】 圧電素子2と、流路4及びバルブ台座部5等が形成された上下の筐体3a,3bと、流路4内での流体の逆流を防止する膜状バルブ6とを備えた圧電ダイヤフラムポンプ1の膜状バルブ6を製造するにあたって、蒸着重合等により上部の筐体3aあるいは下部の筐体3bの流路4を覆うように樹脂膜8を成膜し、この樹脂膜8に吸入用及び排気用の孔部9を穿孔して膜状バルブ6を形成する。
請求項（抜粋）：
圧電素子と、流路及びバルブ台座部等が形成された上下の筐体と、流路内での流体の逆流を防止する膜状バルブとを備え、圧電素子の屈曲運動により流体が吸入側の流路から膜状バルブの吸入側の孔部を経てポンプ室に導入され、さらにポンプ室から膜状バルブの排気側の孔部を経て排気側の流路へ排出される圧電ダイヤフラムポンプの製造方法であって、蒸着重合等によって上部の筐体あるいは下部の筐体の流路を覆うように樹脂膜を成膜し、この樹脂膜に吸入用及び排気用の孔部を穿孔して膜状バルブを形成することを特徴とする圧電ダイヤフラムポンプの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F04B 45/04 B
, F04B 45/04 103 C
3H077AA08
, 3H077CC02
, 3H077CC09
, 3H077DD06
, 3H077EE34
, 3H077EE35
, 3H077FF08
, 3H077FF14
, 3H077FF36
