特許
J-GLOBAL ID：200903073346918635

微小ワーク片の認識方法及びそれを用いたピックアップ装置

発明者：
中野 晴之

中野 晴之 について

, 
チャン ウェン ジェ

チャン ウェン ジェ について


出願人/特許権者：
ニチデン機械株式会社

ニチデン機械株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-091469
公開番号（公開出願番号）：特開2000-286272
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：
【要約】【課題】 ウェーハを順次取り替えて、その中に整列配置されたペレットを認識する方法において、効率的な認識方法を提供する。【解決手段】 初回ウェーハの画像認識で得られた良品のペレットの走査エリアを、次回以降のウェーハにおける走査エリアとする認識方法をとることにより、次回以降の画像認識時間を大幅に短縮する。
請求項（抜粋）：
ウェーハ内のXY平面内で縦横方向に整列配置された多数の微小ワーク片を、ピッチ送りしながら画像認識する方法であって、ウェーハを順次取り替えて、その中の微小ワーク片を画像認識するにあたり、初回の画像認識で得られた良品の微小ワーク片の走査エリアを、次回以降のウェーハにおける走査エリアとする微小ワーク片の認識方法。
IPC (3件)：
H01L 21/52 ,  G06T 7/00 ,  G06T 1/00
FI (3件)：
H01L 21/52 F ,  G06F 15/62 405 A ,  G06F 15/64 D
Fターム (36件)：
5B047AA12 ,  5B047AB01 ,  5B047BB06 ,  5B047BC14 ,  5B047CA14 ,  5B047CB09 ,  5B047CB22 ,  5B047CB25 ,  5B047DC09 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057BA21 ,  5B057BA24 ,  5B057BA26 ,  5B057CA02 ,  5B057CA06 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB02 ,  5B057CB06 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CC02 ,  5B057CH18 ,  5B057DA03 ,  5B057DA07 ,  5B057DA08 ,  5B057DB02 ,  5B057DB05 ,  5B057DB08 ,  5B057DC04 ,  5B057DC32 ,  5B057DC36 ,  5F047AA11 ,  5F047FA02 ,  5F047FA75
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (3件)
  • 特開昭56-098835
  • 特開昭56-098835
  • 特開昭56-098835

前のページに戻る

TOP

BOTTOM