プラズマディスプレイの隔壁形成方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：滝本智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-310461
公開番号（公開出願番号）：特開平9-147739
出願日： 1995年11月29日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：

【要約】【課題】プラズマディスプレイの基板に形成される隔壁において、成分の経時的偏倚を防止して可及的に均質なものが得られるようにする。【解決手段】プラズマディスプレイの隔壁形成方法は、プラズマディスプレイに用いられる背面側基板10に隔壁11を形成する方法であって、背面側基板10の上方にそれより浸食性能が低いガラス板45を積層した2層構造において、ガラス板45の表面に耐エッチング性を有するフォトレジスト47を塗布し、フォトレジスト47を隔壁に応じた所望のパターンで露光現像し、露光現像されたガラス基板をエッチングしてガラス板45に隔壁11を形成する。

請求項（抜粋）：

プラズマディスプレイに用いられるガラス基板に隔壁を形成する方法であって、前記ガラス基板を第1ガラス層とし、その上方に第1ガラス層より浸食性能が低い第2ガラス層を配置した構造において、前記第2ガラス層の表面にフォトレジスト層を形成する工程と、前記フォトレジスト層を前記隔壁に応じた所望のパターンで露光現像する工程と、露光現像されたガラス基板をエッチングして前記第2ガラス層に隔壁を形成する工程と、を含むプラズマディスプレイの隔壁形成方法。

引用特許：

審査官引用 (4件)

AC型プラズマディスプレイパネルの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-043134 出願人：富士通株式会社
プラズマディスプレイパネルの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-053519 出願人：富士通株式会社
特開平3-059928

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