特許

J-GLOBAL ID：200903073399912051

非接触三次元測定装置

発明者： 松宮 貞行 ,  市原 保賜 ,  川崎 俊雄 ,  川辺 隆夫 ,  小松 浩一 ,  佐藤 章 ,  神戸 一浩 ,  門脇 聰一
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-161098
公開番号（公開出願番号）：特開平11-351858
出願日： 1998年06月09日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：

【要約】【課題】 ワークを高速且つ高精度に三次元測定する。【解決手段】 2種類の測定手段、即ち画像測定装置で使用されるCCDカメラ34と、レーザビームを利用して非接触で変位を測定するレーザプローブ35とを併設して1つの撮像ユニット17を構成し、この撮像ユニット17を各測定値に基づいて、XYZ方向に駆動する。CCDカメラ34で比較的大きい範囲でワーク12の撮像を行って形状測定する一方、合焦判定が難しいワークの微小変位をレーザプローブ35で測定する。CCDカメラ34で得られた二次元画像情報を用いると、測定軌道を容易に設定することができる。また、設定された測定軌道に沿ってレーザプローブ34がワーク12の変位量を測定していく。

請求項（抜粋）：

ワークを撮像して画像測定用の二次元画像情報を出力する撮像手段及び前記ワーク上の所定の測定点との距離を変位量として検出可能な非接触変位計を備えた撮像ユニットと、この撮像ユニットを測定三次元空間内の任意の位置に駆動する撮像ユニット駆動機構と、前記撮像ユニットの測定三次元空間内での位置を三次元座標値として出力する位置検出手段と、前記非接触変位計が出力する変位量が常にゼロ又は所定の値を維持するように所定の測定軌道に沿って前記ワーク上の測定点を移動させるべく前記撮像ユニット駆動機構を制御して、前記位置検出手段からの三次元座標値を取り込むことによりワークの倣い測定を実行する制御手段とを備えたことを特徴とする非接触三次元測定装置。

IPC (2件)：

G01B 21/20 ,  G01B 11/24

FI (3件)：

G01B 21/20 C ,  G01B 21/20 P ,  G01B 11/24 C

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 3次元測定装置の制御方式
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-314534   出願人：三洋電機株式会社
• 特開昭57-086710
  
• 特開昭62-174609
  

審査官引用 (2件)

• 3次元測定装置の制御方式
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-314534   出願人：三洋電機株式会社
• 特開昭57-086710