移載装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井上俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-132866
公開番号（公開出願番号）：特開平6-326172
出願日： 1993年05月10日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【目的】移載ア-ムの交換時などに再度ティ-チングを行うことなく速やかに移載を開始すること。また移載動作中に移載ア-ムが位置ずれなどを起こした場合に速やかに対処できるようにすること。【構成】移載室4内に設定された基準位置Pをその光路が通るように上下にレ-ザ光の発光部71及び受光部72を配置する。一方極座標で管理される移載ア-ム5には、レ-ザ光のビ-ム径と同じ径の穴6A(6Bは予備の穴であり、1個でよい)を形成し、穴6Aが光路上に位置したときを基準として、移載ア-ム5を操作してティ-チングデ-タを得る。従って新たな移載ア-ム5に対しては、穴6Aを光路に対して位置合わせを行うだけでもとのティ-チングデ-タを使用できる。また例えば移載動作中に移載ア-ムを、穴6Aが光路上を通過するように制御すれば、移載ア-ムの位置ずれを一早く検出できる。

請求項（抜粋）：

移載アームにより被移載物を保持して移載する移載装置において、前記移載アームの可動範囲内に設定された基準位置と、前記移載アームが所定の動作を行うように予め移載アームを操作し、これにより得られた前記基準位置を基準とする移載アームの位置データよりなるティーチングデータを格納する記憶部と、前記移載アームに形成された光透過部または光反射部をなすスポット領域と、前記基準位置を通るように光を照射し、前記移載アームのスポット領域がその光路上にあるか否かを検出する検出部と、この検出部により移載アームのスポット領域が基準位置に位置していることを検出した後、当該移載アームに対して前記ティーチングデータにもとづいて制御する制御部と、を備えてなることを特徴とする移載装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 , B25J 13/08 , G05B 19/18 , G05B 19/42

引用特許：

出願人引用 (3件)

産業用ロボツト装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-258766 出願人：三菱電機株式会社
特開昭62-274318
特開昭62-274318

審査官引用 (3件)

産業用ロボツト装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-258766 出願人：三菱電機株式会社
特開昭62-274318
特開昭62-274318

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