インクジェットヘッドの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高野明近
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-299963
公開番号（公開出願番号）：特開平7-156412
出願日： 1993年11月30日
公開日（公表日）： 1995年06月20日
要約：

【要約】【目的】ピンホールやキズ、変形に対して耐性が大きく、取扱いが容易な振動板を得ること。【構成】有機フィルム1上に(図(a))、ドライフィルムレジスト2aを形成する(図(b))。次に、ノズル穴5を有するノズル板3にドライフィルムレジスト2bを形成し(図(c))、有機フィルム1とドライフィルムレジスト2aとから成り振動板4と、図(c)で形成されたノズル板3とを接合し、インク液室7を形成する(図(d))。次に、振動板4にPZT7を設けてインクジェットヘッドを実現する(図(e))。このように、有機フィルム1にドライフィルムレジスト2aをラミネートパターン化することで耐性の大きい振動板が得られる。

請求項（抜粋）：

ノズルプレートのノズル穴よりインクを吐出するためのインク液室を構成する振動板を有するインクジェットヘッドの製造方法において、有機フィルムにドライフィルムレジストをラミネートパターン化することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/16 , B41J 2/045 , B41J 2/055

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H , B41J 3/04 103 A

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平4-355147
インクジェットヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-345340 出願人：セイコーエプソン株式会社
特開平4-235057

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