特許
J-GLOBAL ID：200903073432753045
ガス分解処理方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-323235
公開番号（公開出願番号）：特開平11-156145
出願日： 1997年11月25日
公開日（公表日）： 1999年06月15日
要約：
【要約】【課題】 低電力で安定した放電を維持することにより分解効率が改善されたガス分解処理方法及びその装置を提供する。【解決手段】 ハニカム構造を有する外部電極と、該ハニカム構造のセル中央に位置する内部電極間に電界を印加することにより、該ハニカム構造のセル内を流通している気体をプラズマ励起させてガス分解処理を行う方法であって、外部電極及び/又は内部電極の電極対向面に固体誘電体が配設されてなることを特徴とするガス分解処理方法。
請求項（抜粋）：
ハニカム構造を有する外部電極と、該ハニカム構造のセル中央に位置する内部電極間に電界を印加することにより、該ハニカム構造のセル内を流通している気体をプラズマ励起させてガス分解処理を行う方法であって、外部電極及び/又は内部電極の電極対向面に固体誘電体が配設されてなることを特徴とするガス分解処理方法。
IPC (5件)：
B01D 53/32
, B01D 53/44
, B01D 53/50
, B01D 53/56
, B01D 53/74
B01D 53/32
, B01D 53/34 117 Z
, B01D 53/34 122 Z
, B01D 53/34 129 C
