特許
J-GLOBAL ID：200903073448580736
基板処理装置および基板搬入搬出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-047593
公開番号（公開出願番号）：特開平11-129184
出願日： 1998年02月27日
公開日（公表日）： 1999年05月18日
要約：
【要約】【課題】 高さ寸法が高い基板処理装置であっても、各処理部に基板を搬出入することが可能であるとともに装置の輸送時に基板搬送手段の再組立・調整の必要が生じないこと。【解決手段】 搬送ロボットTR1は、いわゆるテレスコピック型の多段入れ子構造の伸縮昇降機構を形成している。駆動機構D1の駆動により、支持部材48が上昇し、同時に、昇降部材42dが上昇する。昇降部材42dが上昇するとプーリ47cも同時に上昇する。プーリ47cが上昇するとベルトL1に引き上げられるようにして昇降部材42cが上昇する。以下同様の作用によって昇降部材42aの上側に設置されている搬送アーム31a,31bが上昇する。そして、多段入れ子構造の数を多くすれば、搬送ロボットTR1の収納時の高さが高くならず、装置の輸送時にも搬送ロボットTR1の再組立・調整が不必要となる。
請求項（抜粋）：
高さ方向に伸縮自在の基板搬送手段が、高さ方向に積層された複数の処理部に対して基板を搬送して所定の処理を行う基板処理装置であって、前記基板搬送手段は、(a) 基板を保持して前記複数の処理部との間で基板の受け渡しを行う搬送アームと、(b) 収納部材と当該収納部材に収納される被収納部材とを含み、前記収納部材と前記被収納部材との相対昇降動作により前記搬送アームを昇降させる伸縮昇降機構と、を備えることを特徴とする基板処理装置。
IPC (3件)：
B25J 18/02
, B65G 49/07
, H01L 21/68
B25J 18/02
, B65G 49/07 D
, H01L 21/68 A
