マイクロ構造及び接着剤マイクロカプセルを用いるマイクロ構造を封止する方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：中島淳 , 加藤和詳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-366900
公開番号（公開出願番号）：特開2005-182043
出願日： 2004年12月17日
公開日（公表日）： 2005年07月07日
要約：

【課題】マイクロ構造を封止するための方法を提供する。【解決手段】マイクロ構造は、少なくとも、第1の基板と、第1の基板から伸びる壁のマイクロ構造とによって画定される。本方法は、第2の基板の第1の側と壁のマイクロ構造の露出した端部との少なくとも1つに沿って複数の接着剤マイクロカプセルを適用するステップを含む。接着剤マイクロカプセルは、接着性物質を含有する。他のステップは、第2の基板の第1の側を壁のマイクロ構造の端部に隣接して位置決めすることを含む。さらなるステップは、複数の接着剤マイクロカプセルの少なくとも一部を破壊して、壁のマイクロ構造の端部と第2の基板の第1の側との間に接着性物質を施すことを含む。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

マイクロ構造が、少なくとも、第1の基板と前記第1の基板から伸びる壁のマイクロ構造とによって画定される、マイクロ構造を封止するための方法であって、前記第2の基板の第1の側と前記壁のマイクロ構造の露出した端部との少なくとも1つに沿って複数の接着剤マイクロカプセルを適用することであって、前記接着剤マイクロカプセルは接着性物質を含有するマイクロカプセルを適用することと、前記第2の基板の前記第1の側を前記壁のマイクロ構造の前記端部に隣接して位置決めすることと、前記複数の接着剤マイクロカプセルの少なくとも一部を破壊して、前記壁のマイクロ構造の端部と前記第2の基板の前記第1の側との間に接着性物質を施すこととを含む、方法。

IPC (4件)：

G09F9/00 , C09J5/00 , C09J201/00 , G02F1/167

FI (4件)：

G09F9/00 342Z , C09J5/00 , C09J201/00 , G02F1/167

Fターム (12件)：

4J040EC001 , 4J040JA11 , 4J040JA13 , 4J040NA17 , 4J040NA19 , 4J040PA30 , 4J040PA32 , 5G435AA17 , 5G435BB11 , 5G435CC09 , 5G435HH18 , 5G435KK05

引用特許：

出願人引用 (1件)

PCT国際公開第01/67170A1号

審査官引用 (5件)

特開平4-096981
光学部品の接着方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-227467 出願人：シャープ株式会社
特開昭63-273680

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