特許

J-GLOBAL ID：200903073452038083

配管用CT撮影装置並びにシリコン酸化物堆積監視方法

発明者： 小泉 洋人 ,  西澤 義一
出願人/特許権者： 株式会社日立エンジニアリングサービス
代理人 (1件)： 高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-000702
公開番号（公開出願番号）：特開平11-194101
出願日： 1998年01月06日
公開日（公表日）： 1999年07月21日
要約：

【要約】【課題】配管用CT装置を小形化すると共に、モノシランガスが流れる配管の内部におけるシリコン酸化物の堆積を確実に把握することのできる方法および装置を提供する。【解決手段】配管の周りにX線発生器およびX線検出器を配設し、配管外面に沿ってこれらを回転せしめてシリコン酸化物堆積状態をCT断層撮像するようにして配管閉塞を監視するようにした方法および装置。

請求項（抜粋）：

配管の周りに配設されたX線発生器およびX線検出器を配管周りに一体的に回転させる回転装置を設けて、配管内の堆積物の堆積状態をCT撮影する配管用CT撮影装置において、前記回転装置は、少なくともその一方端が半円より突出した円弧状に形成され、全体として半円状をなすガイドレールと、この上を案内されて前記X線発生器およびX線検出器の回転を行う回転駆動装置とを備えたことを特徴とする配管用CT撮影装置。

IPC (2件)：

G01N 23/10 ,  G01N 23/04

FI (2件)：

G01N 23/10 ,  G01N 23/04

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平1-270649
  
• 特開平3-205539
  
• 高所配管の撮影用治具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-084168   出願人：出光エンジニアリング株式会社, 日本シーレーク株式会社
• 可搬型X線CT装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-119851   出願人：株式会社日立エンジニアリングサービス