特許

J-GLOBAL ID：200903073473739154

吸着固定用多孔質シート

発明者： 森山 順一 ,  河村 和典 ,  上田 善一 ,  矢野 周治
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-062361
公開番号（公開出願番号）：特開平8-258198
出願日： 1995年03月22日
公開日（公表日）： 1996年10月08日
要約：

【要約】【目的】 液晶用ガラス板、半導体ウエハ、セラミックコンデンサやセラミック基板の精密切断、液晶用ガラス板や半導体ウエハへの精密塗工、偏光板と位相差板あるいはこれらとガラス板との精密貼り合わせ等を吸着固定法により行う場合に用いる吸着固定用多孔質シートに関するものである。【構成】 通気度の異なる多孔質シートを積層した構造を有する吸着固定用シートである。

請求項（抜粋）：

通気度の異なる多孔質シートを積層したことを特徴とする吸着固定用多孔質シート。

IPC (3件)：

B32B 5/18 ,  B32B 27/30 ,  B32B 27/32

FI (3件)：

B32B 5/18 ,  B32B 27/30 D ,  B32B 27/32 Z

引用特許：

審査官引用 (1件)

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  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-026145   出願人：ローランドディー.ジー.株式会社