特許
J-GLOBAL ID:200903073490626134

真空容器の覗き窓および真空容器

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-314404
公開番号(公開出願番号):特開2004-149827
出願日: 2002年10月29日
公開日(公表日): 2004年05月27日
要約:
【課題】窓部材と金属部材とのロウ付けによる接合部の接合強度および気密性が向上し、また窓部材に生じる応力を軽減することで窓部材の割れが生じない信頼性の高い真空容器の覗き窓とすること。【解決手段】真空容器の覗き窓は、略円筒状の金属部材11と、その内周面の一部に側面が全周にわたってロウ材12を介して接合されたサファイアから成る略円板状の窓部材10とを具備し、金属部材11は、内周面の窓部材10が接合される部位に窓部材10の一主面の外周部が接合される凸部11aが全周にわたって連続して形成されており、窓部材10は、側面にメタライズ層13が全周にわたって被着されているとともに、一主面の外周部に外周端から凸部11aよりも窓部材10の中心側へ凸部11aの軸方向の厚みの0.5乃至2倍の長さで突出した位置までメタライズ層13が全周にわたって被着されている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
略円筒状の金属部材と、その内周面の一部に側面が全周にわたってロウ材を介して接合されたサファイアから成る略円板状の窓部材とを具備した真空容器の覗き窓において、前記金属部材は、内周面の前記窓部材が接合される部位に前記窓部材の一主面の外周部が接合される凸部が全周にわたって連続して形成されており、前記窓部材は、側面にメタライズ層が全周にわたって被着されているとともに、前記一主面の外周部に外周端から前記凸部よりも前記窓部材の中心側へ前記凸部の軸方向の厚みの0.5乃至2倍の長さで突出した位置までメタライズ層が全周にわたって被着されていることを特徴とする真空容器の覗き窓。
IPC (2件):
C23C14/52 ,  H01J37/16
FI (2件):
C23C14/52 ,  H01J37/16
Fターム (2件):
4K029BD01 ,  4K029DA03
引用特許:
審査官引用 (5件)
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