表面検査装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-238170
公開番号（公開出願番号）：特開2000-065751
出願日： 1998年08月25日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】被検査面における表面の割れや捩れやめくれ上がりのような顕著な凹凸性を持たない模様状ヘゲ欠陥を確実に検出して、高精度に欠陥を検出する。【解決手段】信号処理部31は0度,45度,-45度になるように配置されたリニアアレイカメラ23からの出力画像信号をシェーディング補正して正常部が全階長の中心濃度になるように正規化して平坦化し、正常部に対する相対的な変化を示す画像信号に変換する。この正常部に対して正常状態を表す濃度レベルより大きな変化を示す疵候補領域を抽出し、抽出した疵候補領域内において3種類の画像信号から長さと幅と面積と濃度ピーク値や濃度の積分値等の特徴量を算出する。算出された特徴量のうち積分した3種類の画像信号積分量の相対的な比から疵の種類を判定する。また、濃度ピーク値や積分値をあらかじめ定められた等級に対応する値と比較して疵の等級を判定する。

請求項（抜粋）：

投光部と受光部と信号処理部とを有し、投光部は被検査面に偏光を入射し、受光部は少なくとも3方向の異なる角度の偏光を受光する複数の受光光学系を有し、被検査面で反射した反射光を検出して画像信号に変換し、信号処理部は各受光光学系から出力された画像信号から被検査面の地肌信号が基準となるように規格化し、基準値に対する変化量から疵候補領域を抽出し、抽出した疵候補領域内における各受光光学系からの信号基準値に対する信号強度の変化量を積分し、各受光光学系間における積分された信号強度積分量の相対的な比から表面疵の種類を判定することを特徴とする表面検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/89 , G01N 21/88

FI (2件)：

G01N 21/89 610 B , G01N 21/88 J

Fターム (11件)：

2G051AA37 , 2G051AB02 , 2G051AB07 , 2G051BA11 , 2G051CA03 , 2G051CA07 , 2G051CB01 , 2G051EA09 , 2G051EA11 , 2G051EB01 , 2G051EC01

引用特許：

審査官引用 (1件)

表面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-297897 出願人：日本鋼管株式会社

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