特許
J-GLOBAL ID：200903073503699713
ピクセル・マトリクスの形態で設けられる温度センサを備える、ビーム・パラメータを記録する光学要素および方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
山川 政樹
, 山川 茂樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-503441
公開番号（公開出願番号）：特表2008-534936
出願日： 2006年04月03日
公開日（公表日）： 2008年08月28日
要約：
本発明は、キャリア基材(40)と、キャリア基材(40)の少なくとも一面に設けられたコーティング(39)とを備え、かつ、少なくとも1つの温度センサ(38)を備える、特に、レーザ・システムにおいて、レーザ・ビームを誘導しかつ整形する光学要素、および、ビーム・パラメータを記録する方法に関する。温度センサ(38)は、マトリクスに配列された多数のピクセルからなり、それぞれの各ピクセルは、少なくとも1つの温度感応性素子(39)を有する。ピクセルの少なくとも1つの温度感応性素子(39)は、シリコンからなるキャリア基材(40)内に構成される。
請求項（抜粋）：
特に、レーザ・システム(11)内に配列され、キャリア基材(40)と、前記キャリア基材(40)の少なくとも一面に設けられたコーティング(32)とを備え、かつ、少なくとも1つの温度センサ(38)を備える、レーザ・ビーム(14)を誘導しかつ整形する光学要素であって、前記温度センサ(38)は、マトリクスに配列された複数のピクセル(36)を備え、前記それぞれのピクセル(36)は、少なくとも1つの温度感応性素子(39)を備えること、および、前記ピクセル(36)の前記少なくとも1つの温度感応性素子(39)は、シリコンからなるキャリア材料(31)内に構成され、前記コーティング(32)は、少なくとも98%の放射の反射率を有することを特徴とする光学要素。
IPC (4件)：
G01J 1/02
, B23K 26/00
, H01S 3/101
, G01K 7/01
G01J1/02 L
, B23K26/00 M
, H01S3/101
, G01K7/00 391S
2G065AA04
, 2G065AA11
, 2G065AB02
, 2G065AB09
, 2G065BA02
, 2G065BA14
, 2G065BA34
, 2G065BB49
, 4E068CA02
, 4E068CC03
, 4E068CD08
, 4E068CE02
, 5F172AD05
, 5F172NN04
, 5F172NP03
, 5F172NP12
, 5F172NR04
, 5F172NR13
