熱型赤外線固体撮像素子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-023683
公開番号（公開出願番号）：特開2003-222555
出願日： 2002年01月31日
公開日（公表日）： 2003年08月08日
要約：

【要約】【課題】駆動線の抵抗による電圧降下の影響の少なく、また、電源電圧変動や素子温度変動による出力変動が少ない熱型赤外線固体撮像素子を提供すること。【解決手段】画素1に接続された第1の定電流源2の近傍に、バイアス線17で共通接続された第2の定電流源18を設け、第1の定電流源2と第2の定電流源18の両端電圧の差を差動積分回路7によって一定時間積分して出力することにより、駆動線に現れる電圧分布をキャンセルする。画素電源6によって駆動される参照信号出力回路11から、素子全体の温度に応じた参照信号をバイアス線17に入力して、電源電圧変動と素子温度変動による信号のドリフトを差動積分回路で減算し、外部に出力しないようにする。

請求項（抜粋）：

少なくとも1個以上直列接続され、断熱構造と赤外線吸収構造を備えたダイオードによって画素が構成され、前記画素が2次元状に配列された画素エリアと、前記画素の陽極を行毎に共通接続した複数の駆動線と、前記画素の陰極を列毎に共通接続し、列毎の終端に第1の定電流化手段を備えた複数の信号線と、前記駆動線を順次選択し、選択した駆動線と画素用電源を接続する垂直走査回路と、前記信号線を順次選択し、選択した信号線について、前記第1の定電流化手段の両端電圧を前記信号線毎に設けられた積分回路を介して出力する水平駆動回路と、を備えた熱型赤外線固体撮像素子であって、前記信号線毎に、前記第1の定電流化手段の近傍に設けられ、前記第1の定電流化手段と実質的に同一の電流を流す第2の定電流化手段と、前記第2の定電流化手段の入力端を前記駆動線と平行に共通接続し、前記駆動線と略同一の抵抗を有するバイアス線と、前記バイアス線にバイアス電圧を与えるバイアス電圧出力回路とを有し、前記積分回路が、前記第1の定電流化手段と前記第2の定電流化手段の両端電圧の差を一定時間積分して出力することを特徴とする熱型赤外線固体撮像素子。

IPC (7件)：

G01J 1/02 , G01J 1/44 , G01J 5/10 , G01J 5/48 , H01L 27/14 , H01L 27/146 , H04N 5/33

FI (9件)：

G01J 1/02 B , G01J 1/02 C , G01J 1/44 D , G01J 1/44 E , G01J 5/10 B , G01J 5/48 E , H04N 5/33 , H01L 27/14 K , H01L 27/14 A

Fターム (36件)：

2G065AA04 , 2G065AA08 , 2G065AB02 , 2G065BA02 , 2G065BA06 , 2G065BA12 , 2G065BA20 , 2G065BA34 , 2G065BC05 , 2G065BC08 , 2G065BC15 , 2G065CA21 , 2G065DA18 , 2G066BA09 , 2G066BA13 , 2G066BB11 , 2G066BC02 , 2G066BC11 , 4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118BA14 , 4M118BA30 , 4M118CA03 , 4M118CA23 , 4M118DD09 , 4M118DD10 , 4M118FA06 , 4M118GA10 , 4M118GB09 , 5C024AX06 , 5C024CX03 , 5C024CX43 , 5C024GY31 , 5C024HX29 , 5C024HX31 , 5C024HX48

引用特許：

出願人引用 (4件)

赤外線固体撮像素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-026227 出願人：三菱電機株式会社
半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-284464 出願人：日本電気株式会社
赤外線検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-199516 出願人：株式会社東芝

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審査官引用 (2件)

赤外線固体撮像素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-026227 出願人：三菱電機株式会社
半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-284464 出願人：日本電気株式会社

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