特許

J-GLOBAL ID：200903073517272526

スパッタ装置用磁気回路

発明者： 小林 秀樹 ,  飛田 輝昭 ,  佐保田 毅 ,  近藤 智保
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社 ,  日本真空技術株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-024665
公開番号（公開出願番号）：特開2000-219965
出願日： 1999年02月02日
公開日（公表日）： 2000年08月08日
要約：

【要約】【課題】 従来の磁気回路を改良して、ターゲット表面における磁場の高さを飛躍的に向上させたマグネトロンスパッタ装置用磁気回路を提供する。【解決手段】 ターゲット裏面に配置した磁石の磁気回路によってターゲット表面から、磁力線が弧状を描く漏れ磁場を発生するマグネトロンスパッタ装置用磁気回路において、内側磁石1と、これと逆向きの磁化方向を有し内側磁石1を取囲む外側磁石2と、内側磁石1と外側磁石2との間に配置され、これら両磁石の磁化方向と直交する方向に磁化された水平磁石6と、これらの磁石を挟んでターゲット4と対向して配設されたヨーク3とから構成され、該水平磁石6として保磁力iHcが残留磁化Brより高い永久磁石を用いるかまたは該水平磁石6を水平に分割してターゲット側部分のみに保磁力iHcが残留磁化Brより高い永久磁石を用いる。

請求項（抜粋）：

ターゲット裏面に配置した磁石の磁気回路によってターゲット表面から、磁力線が弧状を描く漏れ磁場を発生するマグネトロンスパッタ装置用磁気回路において、内側磁石と、これと逆向きの磁化方向を有し内側磁石を取囲む外側磁石と、内側磁石と外側磁石との間に配置され、これら両磁石の磁化方向と直交する方向に磁化された水平磁石と、これらの磁石を挟んでターゲットと対向して配設されたヨークとから構成され、該水平磁石として保磁力iHcが残留磁化Brより高い永久磁石を用いるかまたは該水平磁石を水平に分割してターゲット側部分のみに保磁力iHcが残留磁化Brより高い永久磁石を用いることを特徴とするマグネトロンスパッタ装置用磁気回路。

IPC (2件)：

C23C 14/35 ,  H01L 21/285

FI (2件)：

C23C 14/35 C ,  H01L 21/285 S

Fターム (5件)：

4K029BD02 ,  4K029DC40 ,  4K029DC43 ,  4M104DD39 ,  4M104HH13

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 永久磁石配列装置とその方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平9-505986   出願人：シーヴィシープラダクツインク
• 特開平2-138436
  
• 特開平3-290903
  
• 特開昭59-116376