特許
J-GLOBAL ID：200903073561626432
電子顕微鏡用試料及びその作製方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-135428
公開番号（公開出願番号）：特開平9-318509
出願日： 1996年05月29日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：
【要約】【課題】 微細な結晶欠陥の観察を可能とする透過型電子顕微鏡用試料の作製方法を提供する。【解決手段】 イオンミリングで薄型化する際に形成される損傷層を、酸化作用のある溶液と酸化シリコン膜のエッチング液によって処理する。これによって、透過型電子顕微鏡観察の際に障害となる損傷層を除去する。
請求項（抜粋）：
シリコン単結晶基板にイオンミリングを行う工程と、イオンミリングにより前記シリコン単結晶基板に生じた損傷層に酸化処理を行う工程と、酸化された損傷層を除去する工程を有することを特徴とする電子顕微鏡用試料の作製方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 1/32 B
, G01N 1/28 G
, G01N 1/28 F
