特許
J-GLOBAL ID：200903073569727785
垂直磁気記録媒体及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
谷 義一
, 阿部 和夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-017995
公開番号（公開出願番号）：特開2004-227740
出願日： 2003年01月27日
公開日（公表日）： 2004年08月12日
要約：
【課題】従来の成膜装置を用いても、垂直磁気記録媒体として十分に機能し、なおかつ生産性を有する垂直磁気記録媒体及びその製造方法を提供すること。【解決手段】非磁性基体1上に、少なくとも軟磁性裏打ち層2と中間層5と磁気記録層6と第一保護層7とが順に形成された構造を有しており、さらに第一保護層7の上に液体潤滑剤層8が形成されている。軟磁性裏打ち層までを成膜後に一旦成膜装置から非磁性基板を取り出し、この非磁性基板の洗浄を行なった後に再び成膜装置内に導入して中間層からの成膜を行なう。これにより、現状の成膜装置を用いて、高信頼を有し、かつ電磁変換特性に優れた垂直磁気記録媒体を作製することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
非磁性基体上に、少なくとも軟磁性裏打ち層と中間層と磁気記録層と第一保護層及び液体潤滑剤層とが順次積層されてなる垂直磁気記録媒体において、前記軟磁性裏打ち層までを成膜後に一旦成膜装置から前記非磁性基板を取り出し、該非磁性基板の洗浄を行なった後に再び前記成膜装置内に導入して中間層からの成膜を行なうことを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。
IPC (5件)：
G11B5/84
, G11B5/65
, G11B5/667
, G11B5/738
, G11B5/851
G11B5/84 Z
, G11B5/65
, G11B5/667
, G11B5/738
, G11B5/851
5D006BB07
, 5D006CA03
, 5D112AA04
, 5D112FA04
, 5D112GA08
