特許

J-GLOBAL ID：200903073606298954

ドレッシング装置及び該ドレッシング装置を備えたポリッシング装置

発明者： 佐藤 一樹 ,  木村 憲雄
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-065710
公開番号（公開出願番号）：特開2000-263416
出願日： 1999年03月11日
公開日（公表日）： 2000年09月26日
要約：

【要約】【課題】 ドレッサー本体の姿勢を電磁気力によって制御しながらターンテーブルの研磨面のドレッシングを行うことにより、ターンテーブルの研磨面の平坦度を高めることができるドレッシング装置及び該ドレッシング装置を備えたポリッシング装置を提供する。【解決手段】 ポリッシング対象物と摺接するターンテーブル1上の研磨面のドレッシングを行うドレッシング装置5において、研磨面に接触して研磨面のドレッシングを行うドレッサー本体9と、ドレッサー本体9をターンテーブル1の研磨面に対して押圧する押圧手段22と、ドレッサー本体9の姿勢を電磁気力によって制御する姿勢制御手段11とを設けた。

請求項（抜粋）：

ポリッシング対象物と摺接するターンテーブル上の研磨面のドレッシングを行うドレッシング装置において、前記研磨面に接触して研磨面のドレッシングを行うドレッサー本体と、該ドレッサー本体をターンテーブルの研磨面に対して押圧する押圧手段と、前記ドレッサー本体の姿勢を電磁気力によって制御する姿勢制御手段とを設けたことを特徴とするドレッシング装置。

IPC (3件)：

B24B 37/00 ,  B24B 21/00 ,  H01L 21/304 622

FI (3件)：

B24B 37/00 A ,  B24B 21/00 A ,  H01L 21/304 622 M

Fターム (8件)：

3C058AA07 ,  3C058AA12 ,  3C058AA19 ,  3C058BA07 ,  3C058BB02 ,  3C058BC02 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ポリッシング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-344149   出願人：東芝機械株式会社