放射線硬化性樹脂組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：鈴木俊一郎 , 牧村浩次 , 高畑ちより
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-070463
公開番号（公開出願番号）：特開2008-233346
出願日： 2007年03月19日
公開日（公表日）： 2008年10月02日
要約：

【課題】ガラス基板やSiO2またはSiN等の絶縁膜を有する基板をウェットエッチング加工する際のレジスト膜の形成に好適な放射線硬化性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】本発明の放射線硬化性樹脂組成物は、(A)側鎖にフッ素化炭化水素基を有するラジカル重合性化合物に由来する構造単位を含有するアルカリ可溶性樹脂、(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物および(C)放射線ラジカル重合開始剤を含有することを特徴とする。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)側鎖にフッ素化炭化水素基を有するラジカル重合性化合物(a)に由来する構造単位と、カルボキシル基を有するラジカル重合性化合物(b)に由来する構造単位と、フェノール性水酸基を有するラジカル重合性化合物(c1)および/または共重合体合成後にフェノール性水酸基に変換できる官能基を有するラジカル重合性化合物(c2)に由来するフェノール性水酸基を有する構造単位とを含有する共重合体(I)を含むアルカリ可溶性樹脂、 (B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物、および (C)放射線ラジカル重合開始剤を含有することを特徴とする放射線硬化性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/027 , C08F 290/12 , C08F 8/00

FI (4件)：

G03F7/027 502 , C08F290/12 , G03F7/027 515 , C08F8/00

Fターム (80件)：

2H025AA07 , 2H025AA14 , 2H025AB14 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC43 , 2H025BC53 , 2H025BC83 , 2H025BC85 , 2H025BC86 , 2H025CA00 , 2H025CC06 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J100AB07R , 4J100AJ02Q , 4J100AL03S , 4J100AL08P , 4J100AL08S , 4J100BA03H , 4J100BA03R , 4J100BA15H , 4J100BB18P , 4J100BC07S , 4J100BC08S , 4J100BC12S , 4J100CA05 , 4J100CA06 , 4J100CA31 , 4J100HA62 , 4J100HC09 , 4J100HC39 , 4J100HC43 , 4J100HD00 , 4J100HE14 , 4J100HE41 , 4J100JA38 , 4J127AA03 , 4J127AA06 , 4J127BB041 , 4J127BB042 , 4J127BB081 , 4J127BB112 , 4J127BB221 , 4J127BB222 , 4J127BC031 , 4J127BC151 , 4J127BC152 , 4J127BD061 , 4J127BD142 , 4J127BE11X , 4J127BE111 , 4J127BE21X , 4J127BE211 , 4J127BE31Y , 4J127BE311 , 4J127BE34X , 4J127BE341 , 4J127BG04X , 4J127BG041 , 4J127BG05X , 4J127BG051 , 4J127BG07X , 4J127BG071 , 4J127BG08X , 4J127BG081 , 4J127BG10Y , 4J127BG101 , 4J127BG11X , 4J127BG111 , 4J127BG17X , 4J127BG17Y , 4J127BG171 , 4J127CB152 , 4J127CB341 , 4J127CC022 , 4J127DA28 , 4J127DA61 , 4J127FA17

引用特許：

出願人引用 (1件)

光硬化性レジスト樹脂組成物及びガラス基板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-402437 出願人：日本ペイント株式会社

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