特許
J-GLOBAL ID：200903073615032207
垂直方向インタフェース対応の開放システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外9名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-559041
公開番号（公開出願番号）：特表2002-520831
出願日： 1999年07月12日
公開日（公表日）： 2002年07月09日
要約：
【要約】200mm及び300mmのサイズを含む種々のサイズのポッド(32)及び前部開放式及び底部開放式を含む種々の形態のポッドをBOLTSインタフェース(22)に使用でき、又はBOLTSインタフェース(22)を含まない形態のプロセスツールの前端部の垂直方向ポートに使用できるようにするロードポート(24)を有するシステムを提供する。
請求項（抜粋）：
加工物を垂直方向に向いたポートを通して底部開放式SMIFポッドとプロセスツールとの間で移送する人間工学的システムであって、SMIFポッドは、ポッドドア及びポッドシェルを有し、前記人間工学的システムは、約900mmの高さのところに設けられていて、SMIFポッドを受け入れるようになった水平面を備えたロードポートを有し、前記ロードポートは、ポッドシェルを持ち上げてポッドから離すことができ、前記ロードポートは、ポッドシェルをポッドから離している間、加工物を清浄な空気中に維持するミニエンバイロンメントを有し、前記人間工学的システムは、プロセスツールに設けられたBOLTSインタフェースを更に有し、前記ロードポートは、前記加工物を前記BOLTSインタフェースを通して前記プロセスツール内に移送可能に位置決めできることを特徴とする人間工学的システム。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/00
, B65G 49/07
H01L 21/68 A
, B65G 49/00 A
, B65G 49/07 L
5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031FA09
, 5F031FA12
, 5F031JA02
, 5F031JA22
, 5F031JA23
, 5F031MA15
, 5F031NA05
, 5F031NA13
