棒状被覆部材の製造方法、プラズマの局在化防止方法および棒状被覆部材製造用の支持台

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福村直樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-035841
公開番号（公開出願番号）：特開平7-243048
出願日： 1994年03月07日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：

【要約】【構成】この出願に係る一発明は、支持台上に、複数本の棒状基材を間隔をおいて立設し、かつ前記棒状基材よりも外側の位置に複数本の導電性棒状部材を間隔をおいて立設した後、マイクロ波プラズマCVD法により前記棒状基材の表面に被覆材料を被覆することを特徴とする棒状被覆部材の製造方法である。【効果】前記構成を有することにより、プラズマによる棒状基材の局所過熱やエッチングを防止し、損傷のない棒状基材の表面に被覆材料が均一に被覆されてなる棒状被覆部材を容易にかつ簡便に、しかも生産性よく製造することができる。

請求項（抜粋）：

支持台上に、棒状基材が立設され、かつ前記棒状基材の周囲に複数本の導電性棒状部材が間隔をおいて立設された状態で、マイクロ波プラズマCVD法により前記棒状基材の表面に被覆材料を被覆することを特徴とする棒状被覆部材の製造方法。

IPC (5件)：

C23C 16/50 , B23B 51/00 , B23P 15/32 , C23C 16/26 , C23C 16/30

引用特許：

審査官引用 (5件)

硬質炭素膜被覆用治具
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-190544 出願人：セイコー電子工業株式会社
特開平2-048106
特開平1-146606

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