特許
J-GLOBAL ID:200903073727733879

エッチング特性および低熱膨張特性に優れたシャドウマスク材

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-010580
公開番号(公開出願番号):特開2000-212702
出願日: 1999年01月19日
公開日(公表日): 2000年08月02日
要約:
【要約】【課題】 低熱膨張特性を維持しつつ、かつエッチング穿孔時の不規則エッチングを防止したシャドウマスク材を提供する。【解決手段】 重量%で、Ni:35.0〜37.0%、Mn:0.10%を超え0.15%以下を含有し、残部Feおよび不純物からなるシャドウマスク材であって、不純物としてS:0.0001〜0.0030%に規制したシャドウマスク材である。更には、Feの一部をB、Ca、Mgの1種または2種以上と置換したシャドウマスク材であり、そのB、Ca、Mgの1種または2種以上の総和が、重量%で0.0050%以下であるシャドウマスク材である。
請求項(抜粋):
重量%で、Ni:35.0〜37.0%、Mn:0.10%を超え0.15%以下を含有し、残部Feおよび不純物からなるシャドウマスク材であって、不純物としてS:0.0001〜0.0030%に規制したことを特徴とするエッチング特性および低熱膨張特性に優れたシャドウマスク材。
IPC (3件):
C22C 38/00 302 ,  C22C 38/08 ,  H01J 29/07
FI (3件):
C22C 38/00 302 R ,  C22C 38/08 ,  H01J 29/07 A
Fターム (1件):
5C031EE05
引用特許:
審査官引用 (4件)
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