特許
J-GLOBAL ID：200903073749744700

ステージ装置及び露光装置

発明者：
今井 基勝

今井 基勝 について

, 
宮川 智樹

宮川 智樹 について

, 
龍薗 寿隆

龍薗 寿隆 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-006638
公開番号（公開出願番号）：特開2005-203483
出願日： 2004年01月14日
公開日（公表日）： 2005年07月28日
要約：
【課題】 高価格化を招くことなく粗動ステージの非走査方向の位置情報を検出する。【解決手段】 基板を保持して、ベース3に対して第1方向及び第2方向に移動するステージ本体MSTを有する。第1方向に所定間隔隔ててステージ本体MSTに設けられた一対の検出ヘッド73と、ベース3に設けられた検出対象部74とを有し、ステージ本体MSTの位置を3自由度で検出する検出装置72を備えた。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
基板を保持して、ベースに対して第1方向及び第2方向に移動するステージ本体を有するステージ装置であって、 前記第1方向に所定間隔隔てて前記ステージ本体に設けられた一対の検出ヘッドと、前記ベースに設けられた検出対象部とを有し、前記ステージ本体の位置を3自由度で検出する検出装置を備えたことを特徴とするステージ装置。
IPC (5件)：
H01L21/027 ,  G01B21/00 ,  G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  H01L21/68
FI (6件)：
H01L21/30 503A ,  G01B21/00 A ,  G01B21/00 L ,  G03F7/20 521 ,  G03F9/00 H ,  H01L21/68 K
Fターム (30件)：
2F069AA01 ,  2F069BB15 ,  2F069DD25 ,  2F069DD27 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG11 ,  2F069HH11 ,  2F069MM04 ,  2F069MM24 ,  2F069MM38 ,  5F031CA02 ,  5F031HA53 ,  5F031JA01 ,  5F031JA06 ,  5F031JA17 ,  5F031JA28 ,  5F031JA32 ,  5F031JA38 ,  5F031KA06 ,  5F031KA08 ,  5F031LA03 ,  5F031LA07 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F046AA23 ,  5F046CC03 ,  5F046CC17 ,  5F046DB04 ,  5F046DB10
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM