特許
J-GLOBAL ID:200903073749744700
ステージ装置及び露光装置
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 青山 正和
, 西 和哉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-006638
公開番号(公開出願番号):特開2005-203483
出願日: 2004年01月14日
公開日(公表日): 2005年07月28日
要約:
【課題】 高価格化を招くことなく粗動ステージの非走査方向の位置情報を検出する。【解決手段】 基板を保持して、ベース3に対して第1方向及び第2方向に移動するステージ本体MSTを有する。第1方向に所定間隔隔ててステージ本体MSTに設けられた一対の検出ヘッド73と、ベース3に設けられた検出対象部74とを有し、ステージ本体MSTの位置を3自由度で検出する検出装置72を備えた。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
基板を保持して、ベースに対して第1方向及び第2方向に移動するステージ本体を有するステージ装置であって、
前記第1方向に所定間隔隔てて前記ステージ本体に設けられた一対の検出ヘッドと、前記ベースに設けられた検出対象部とを有し、前記ステージ本体の位置を3自由度で検出する検出装置を備えたことを特徴とするステージ装置。
IPC (5件):
H01L21/027
, G01B21/00
, G03F7/20
, G03F9/00
, H01L21/68
FI (6件):
H01L21/30 503A
, G01B21/00 A
, G01B21/00 L
, G03F7/20 521
, G03F9/00 H
, H01L21/68 K
Fターム (30件):
2F069AA01
, 2F069BB15
, 2F069DD25
, 2F069DD27
, 2F069GG04
, 2F069GG07
, 2F069GG11
, 2F069HH11
, 2F069MM04
, 2F069MM24
, 2F069MM38
, 5F031CA02
, 5F031HA53
, 5F031JA01
, 5F031JA06
, 5F031JA17
, 5F031JA28
, 5F031JA32
, 5F031JA38
, 5F031KA06
, 5F031KA08
, 5F031LA03
, 5F031LA07
, 5F031LA08
, 5F031MA27
, 5F046AA23
, 5F046CC03
, 5F046CC17
, 5F046DB04
, 5F046DB10
引用特許: