特許

J-GLOBAL ID：200903073779183060

偏光干渉計

発明者： 川田 勝
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-130822
公開番号（公開出願番号）：特開平8-327453
出願日： 1995年05月29日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 全体の光量を損失することなく干渉縞のコントラストを上げる偏光干渉計の提供。【構成】 直線偏光を出力するレーザ光源11からの光はその直後に挿入された1/2波長板HWP及びレンズ系12を経て偏光ビームスプリッタPBSで偏光方向が互いに直交する二つの直線偏光に分けられ、一方は参照光として参照面15を照射し、他方は試料光として被測定面(サンプル)14に照射して、再び偏光ビームスプリッタPBSで一つの光束に合成する。このとき、x軸、y軸から45°の方向に設定された1/4波長板QWP3 を透過させて二つの直線偏光を夫々左右の円偏光に変換する。

請求項（抜粋）：

入射光を振動方向が互いに直交する二つの直線偏光に分割して一方を参照光とし、他方をサンプルを経た試料光とした後、再び合成し1/4波長板、偏光子の順に透過させることによって干渉縞を形成し、サンプルの二次元的な位相情報を取り出す偏光干渉計において、干渉計に入る前の入射光を直線偏光とし、この直線偏光の偏光面を光軸の回りに任意の方向に回転させる手段を具備したことを特徴とする偏光干渉計。

IPC (2件)：

G01J 3/45 ,  G01J 9/02

FI (2件)：

G01J 3/45 ,  G01J 9/02

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-151802
  
• 特開平2-287107
  
• 干渉測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-027316   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開平1-167603