特許

J-GLOBAL ID：200903073804764685

アルカリ性洗浄組成物及びそれを用いた基板の洗浄方法

発明者： 迫 直樹 ,  森永 均
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-110741
公開番号（公開出願番号）：特開平8-306651
出願日： 1995年05月09日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】【目的】Fe及びAl等の金属の付着が防止され、且つ除去能力にも優れているアルカリ性洗浄組成物を提供する。【構成】フッ化物イオンを0.15mol/l以上含有するアルカリ性洗浄組成物。

請求項（抜粋）：

フッ化物イオンを0.15mol/l以上含有するアルカリ性洗浄組成物。

IPC (6件)：

H01L 21/304 341 ,  C11D 7/60 ,  C11D 7:32 ,  C11D 7:18 ,  C11D 7:08 ,  C11D 7:04

FI (2件)：

H01L 21/304 341 L ,  C11D 7/60