特許

J-GLOBAL ID：200903073894213046

ポリッシング装置

発明者： 勝岡 誠司 ,  桜井 邦彦 ,  戸川 哲二
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-339168
公開番号（公開出願番号）：特開平8-187656
出願日： 1994年12月28日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：

【要約】【目的】 クロスカートリッジのターンテーブルへの着脱が容易でかつ強固な固定ができ、良好な作業性と品質を確保できるポリッシング装置を提供することを目的とする。【構成】 台座にクロスを張り付けてなるクロスカートリッジをターンテーブルに着脱可能に取り付け、このターンテーブルを回転させつつクロスカートリッジ上面のクロスに研磨砥液を流下し、クロス上面に被加工物を押し付けて被加工物を研磨するポリッシング装置において、上記ターンテーブルに、上記ターンテーブルの回転軸と直交する面に対して傾斜したテーパ面とを有する締結部材を回転可能に設け、上記クロスカートリッジに上記締結部材の回転に伴い上記テーパ面と係合する係合面を形成し、上記締結部材と上記ターンテーブルの間に弾性部材を介在させ、上記締結部材の回転に伴い上記弾性部材が変形して上記テーパ面と上記係合面の間に弾発力が負荷されるようにしたものである。

請求項（抜粋）：

台座にクロスを張り付けてなるクロスカートリッジをターンテーブルに着脱可能に取り付け、このターンテーブルを回転させつつクロスカートリッジ上面のクロスに研磨砥液を流下し、クロス上面に被加工物を押し付けて被加工物を研磨するポリッシング装置において、上記ターンテーブルには、上記ターンテーブルの回転軸と直交する面に対して傾斜したテーパ面を有する締結部材が回転可能に設けられ、上記クロスカートリッジには上記締結部材の回転に伴い上記テーパ面と係合する係合面が形成され、上記締結部材と上記ターンテーブルの間には弾性部材が介在させられ、上記締結部材の回転に伴い上記弾性部材が変形して上記テーパ面と上記係合面の間に弾発力が負荷されることを特徴とするポリッシング装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特公昭59-044185
  
• 特公昭49-014655
  
• 固定構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-327825   出願人：株式会社日本ピット
• 特開平4-367350