特許
J-GLOBAL ID：200903073912414208
高エネルギーイオン注入によるマイクロ機械要素の機能加工法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
工業技術院機械技術研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-105545
公開番号（公開出願番号）：特開平5-279849
出願日： 1992年03月31日
公開日（公表日）： 1993年10月26日
要約：
【要約】【目的】 高エネルギーイオン注入による材料改質をマイクロ機械要素に適用し、高精度な形状の創製が容易な材料で、作りやすい形状で創製を行ったうえで、その要素が必要部分に必要な弾性率を持つように改質する方法を提供する。【構成】 弾性変形を機能・性能に不可欠な要件とするマイクロ機械要素を、形状創製の容易な材料、成形加工法により形成し、このマイクロ機械要素に対して、部分的に高エネルギーイオン注入を行うことにより、部分的な材質変更を行い、そのイオン注入した部分の弾性率を他の部分に比して変化させる。
請求項（抜粋）：
弾性変形を機能・性能に不可欠な要件とする形状創製の容易なマイクロ機械要素に対して、部分的に高エネルギーイオン注入を行うことにより材質変更を行い、そのイオン注入した部分の弾性率を他の部分に比して変化させることを特徴とする高エネルギーイオン注入によるマイクロ機械要素の機能加工法。
引用特許：
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