感光性樹脂組成物、ブラックマトリクスおよびその製造方法、トランジスタアレイ基板およびその製造方法、並びに、カラーフィルタ基板およびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：山崎宏 , 田中光雄 , 仲倉幸典
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-072151
公開番号（公開出願番号）：特開2008-233476
出願日： 2007年03月20日
公開日（公表日）： 2008年10月02日
要約：

【課題】パターニング精度を維持したまま高OD化させる。【解決手段】ポジ型あるいはネガ型のフォトレジスト中にクロミズム特性を有する材料を含む感光性樹脂組成物を提供する。この感光性樹脂組成物は、加熱あるいは光照射等によってOD値を変化できる。したがって、パターニング工程後に加熱あるいは光照射等を行って高OD化させることによって、パターニング精度を高く維持すると共に、高OD化させたブラックマトリクスを提供することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性ノボラック樹脂とナフトキノンジアジド基含有化合物とを含むポジ型感光性樹脂組成物に、クロミズム特性を有する化合物を混合したことを特徴とする遮光膜形成用の感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G02B 5/20 , G03F 7/004 , G02F 1/136 , G02F 1/133 , G09F 9/30 , G03F 7/40 , G03F 7/022

FI (9件)：

G02B5/20 101 , G03F7/004 507 , G02F1/1368 , G02F1/1335 , G02F1/1335 515 , G09F9/30 349C , G03F7/004 505 , G03F7/40 521 , G03F7/022

Fターム (71件)：

2H025AA00 , 2H025AB13 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025AD03 , 2H025BC13 , 2H025BC42 , 2H025BE01 , 2H025CA00 , 2H025CB00 , 2H025CB29 , 2H025CC11 , 2H025CC14 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H025FA30 , 2H025FA37 , 2H048BA02 , 2H048BA11 , 2H048BA48 , 2H048BB02 , 2H048BB22 , 2H048BB42 , 2H091FA02Y , 2H091FA35Y , 2H091FB04 , 2H091FC10 , 2H091GA01 , 2H091GA02 , 2H091LA30 , 2H092GA11 , 2H092JA24 , 2H092JA37 , 2H092JA41 , 2H092JB11 , 2H092JB22 , 2H092JB31 , 2H092JB51 , 2H092JB52 , 2H092MA05 , 2H092MA10 , 2H092MA13 , 2H092MA16 , 2H092MA22 , 2H092NA25 , 2H092PA01 , 2H092PA08 , 2H096AA27 , 2H096AA30 , 2H096BA01 , 2H096BA09 , 2H096EA02 , 2H096GA08 , 2H096HA01 , 2H096HA03 , 2H096HA09 , 2H096JA04 , 2H191FA02Y , 2H191FA14Y , 2H191FB04 , 2H191FC10 , 2H191GA01 , 2H191GA04 , 2H191LA40 , 5C094AA48 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094DA13 , 5C094ED15 , 5C094FB01 , 5C094HA10

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平4-253028号公報
ブラックマトリックス用色素、該色素を含むレジスト組成物、当該組成物を用いてブラックマトリックスを製造する方法、及び該方法により得られるブラックマトリックス
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-055792 出願人：住友化学工業株式会社

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